1、将预先连接在固相载体上的活性基团被保护的核苷酸与三氯乙酸反应，脱去其5羟基的保护基团DMT，获得游离的5羟基。
2、合成DNA的原料，亚磷酰胺保护核苷酸单体，与活化剂四氮唑混合，得到核苷亚磷酸活化中间体，它的3端被活化，5羟基仍然被DMT保护，与溶液中游离的5羟基发生缩合反应。
3、带帽反应，缩合反应中可能有极少数5羟基没有参加反应，用乙酸酐和甲基咪唑终止其后继续发生反应，这种短片段可以在后续环节根据实验需要来选择纯化方式分离掉。
4、在氧化剂碘的作用下，亚磷酰形式转变为更稳定的磷酸三酯。这样即可合成引物。
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